Волокобинская, Н. И. Технология микросхем : Ч. 1. Пособие к лабораторным работам / Н. И. Волокобинская, Н. К. Иванов-Есипович. - Ленинград, 1969. Subjects--Index Terms: მიკროსქემები - ტექნოლოგია სახელმძღვანელო ლაბორატორიული მეცადინეობისთვის