00630nam a22001097a 4500001000700000008004100007100004000048245019100088264003100279653007400310653013600384905869260625m1969    ru ||||| |||| 00| 0 rus d  aВолокобинская, Н. И.  aТехнология микросхем :bЧ. 1. Пособие к лабораторным работам / cН. И. Волокобинская, Н. К. Иванов-Есипович.  aЛенинград,c1969.  aმიკროსქემები - ტექნოლოგია  aსახელმძღვანელო ლაბორატორიული მეცადინეობისთვის