Фотолитография в производстве изделий электронной техники :   (По материалам зарубежной печати за 1965-1967 гг.) : (Обзоры научно-технической литературы по электронной технике . Серия. Технология и организация производства ; Обзор № 33) / 
[Сост. Г.М. Белевич, Г.А. Шапкин, И.И. Ефименко]... [и др.] ; М-во электронной пром-сти СССР. Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исследований и науч. информации.  
 - Москва :  Б. и.,  1967. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>ელექტროტექნიკური მრეწველობა - ტექნიკური ესთეტიკა