<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<mods xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns="http://www.loc.gov/mods/v3" version="3.1" xsi:schemaLocation="http://www.loc.gov/mods/v3 http://www.loc.gov/standards/mods/v3/mods-3-1.xsd">
  <titleInfo>
    <title>Фотолитография в производстве изделий электронной техники</title>
    <subTitle>(По материалам зарубежной печати за 1965-1967 гг.) : (Обзоры научно-технической литературы по электронной технике . Серия. Технология и организация производства ; Обзор № 33)</subTitle>
  </titleInfo>
  <typeOfResource>text</typeOfResource>
  <originInfo>
    <place>
      <placeTerm type="code" authority="marccountry">ru</placeTerm>
    </place>
    <dateIssued encoding="marc">1967</dateIssued>
    <issuance>monographic</issuance>
  </originInfo>
  <language>
    <languageTerm authority="iso639-2b" type="code">rus</languageTerm>
  </language>
  <physicalDescription>
    <form authority="marcform">print</form>
  </physicalDescription>
  <note type="statement of responsibility">[Сост. Г.М. Белевич, Г.А. Шапкин, И.И. Ефименко]... [и др.] ; М-во электронной пром-сти СССР. Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исследований и науч. информации. </note>
  <subject>
    <topic>ელექტროტექნიკური მრეწველობა - ტექნიკური ესთეტიკა</topic>
  </subject>
  <recordInfo>
    <recordCreationDate encoding="marc">260707</recordCreationDate>
    <recordIdentifier>907925</recordIdentifier>
  </recordInfo>
</mods>
