TY  - BOOK
TI  - Фотолитография в производстве изделий электронной техники : : (По материалам зарубежной печати за 1965-1967 гг.) : (Обзоры научно-технической литературы по электронной технике . Серия. Технология и организация производства ; Обзор № 33) 
PY  - 1967///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
KW  - ელექტროტექნიკური მრეწველობა - ტექნიკური ესთეტიკა
ER  -