@book{96060,
	author = {Мягков, Алексей Тихонович. and Корсетов, Евгений Михайлович},
	title = {Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники /},
	publisher = {Энергия,},
	year = {1979.},
	address = {Москва :}
}