Мягков, Алексей Тихонович. <br/><br/>
Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники / 
А.  Т. Мягков, Е.  М. Корсетов. 
 -  Энергия,  1979. 
 - 312 с.  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 305-310 (122 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>ქიმიურ-ტექნოლოგიური აპარატურა მიკროელექტრონიკა 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.3.049.77