TY  - BOOK
AU  - Мягков,Алексей Тихонович
AU  - Корсетов,Евгений Михайлович
TI  - Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - ქიმიურ-ტექნოლოგიური აპარატურა
KW  - მიკროელექტრონიკა
N1  - Библиогр.: с. 305-310 (122 назв.)
ER  -