TY  - BOOK
AU  - Arnold,Heinrich
TI  - Chemische Dampfablagerung: CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik 
AV  - TS695 .A75 1982
U1  - 671.7/35 19
PY  - 1982///
CY  - Berlin
PB  - Akademie-Verlag
KW  - Vapor-plating
KW  - ქიმია
KW  - ფიზიკური ქიმია
N1  - Includes bibliographical references and index
ER  -