TY  - BOOK
AU  - Костржицкий, Анатолий Игоревич
AU  - Карпов, В. Ф.
AU  - Маргулис, О. В.
TI  - Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме
SN  - 5217008334
PY  - 1991///
CY  - Москва
PB  - Машиностроение
KW  - ვაკუუმი
KW  - პარამეტრები
KW  - საფარი
KW  - ოპერატორი
KW  - ცნობარი
N1  - Предм. указ. : с. 169-172; Библиогр. : с. 168 (18 назв.)
ER  -