ნანოზომის ელემენტებიანი ფოტოშაბლონის და ხელსაწყოების დამზადების ხერხი თეიმურაზ ხოფერია, ნიკოლოზ ხოფერია.
Material type:
TextLanguage: ge ქ. მცხეთა : საქპატენტი, პატენტის გამოქვეყ.თარიღი და ბიულეტენის ნომერი (45): 2009 09 25 #18Description: გამოგონებაზე პატენტის სრული ტექსტი - 33 გვ. ; მუხლები: 1 დამოუკიდებელი; 8 დამოკიდებული; ფიგურა: 35Patent information: 4788, B, 2009-09-25 , published, SakpatentiOther title: - = METHOD FOR PRODUCTION OF PHOTOMASKS AND FACILITIES WITH NANOSIZE ELEMENTS : გამოგონების პატენტი = Patent for invention : (11) GE P 2009 4788 B : (51) H 01 L 21/00 (IPC, 2006)
- H01L21/00;
- H01L21/02
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
პატენტები
|
ეროვნული სამეცნიერო ბიბლიოთეკა 2 კორპ. 2, საცავი | H01L21/00 (Browse shelf(Opens below)) | P 2009 4788 B | Not for loan | 2015-10051 |
- პატენტის სრული აღწერილობისა და ტექსტის მოსანახად ქართულ ენაზე დააწკაპეთ მარჯვენა მხარეს ბმულზე „სხვა ძიებები“ და შემდეგ საქპატენტის შესაბამის ბმულზე.
ხერხი ითვალისწინებს გამჭვირვალე სუბსტრატზე, მაგალითად, მინაზე ან კვარცზე, პირველი ფენის დაფენის შემდეგ პირველი ჯგუფის სანიღბო ელემენტების მიღებას კონტაქტური ფოტოლითოგრაფიის მეშვეობით. შემდეგ ატარებენ ამ პირველი ჯგუფის სანიღბო ელემენტების ვერტიკალური და ზედა ჰორიზონტალური საზღვრების მოდიფიცირებას, მაგალითად, ოქსიდირებას. ამის შემდეგ ახდენენ მეორე სანიღბო ფენის დატანასა და მეორე სანიღბო ფენის ზედა (გარე) საზღვრების ოქსიდირებას.აწარმოებენ პირველი და მეორე სანიღბო ფენების ოქსიდირებული საზღვრების სელექციურ მოწამლვას.
ამრიგად, ერთჯერადი ჩვეულებრივი ულტრაიისფერი კონტაქტური ფოტოლითოგრაფიით იღებენ ნახევრადგამჭვირვალე პირველი და მეორე ჯგუფის სანიღბო ელემენტებს და მათ შორის გამჭვირვალე ნანოზომის ელემენტებს.
There are no comments on this title.