Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : учебное пособие для приборостроительных специальностей вузов / [А. А. Сазонов [и др.] ; под ред. А. А. Сазонов.
Material type:![Text](/opac-tmpl/lib/famfamfam/BK.png)
- 5060007316
Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
ეროვნული სამეცნიერო ბიბლიოთეკა 1 საცავი. 1 კორპ. | 621.382.049.77-52(075.8) (Browse shelf(Opens below)) | 2R760092 | შესამოწმებელია | 2021-3582664 | ||
![]() |
ეროვნული სამეცნიერო ბიბლიოთეკა 2 კორპ. 2, საცავი | 621.382.049.77-52(075.8) (Browse shelf(Opens below)) | 2K8805 | Available | 2017-293301 |
Библиогр.: с. 332.
В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделирования и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также системы управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата.
There are no comments on this title.