000			00838nam a22001937a 4500
003			Ge_NSL
005			20170118115429.0
008			161129s1980 by ||||| |||| 00| 0 rus d
041			_arus
080			_a
245			_aТаблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей : _b(Теория, метод расчета, таблицы) / _c[А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин].
264			_aМинск : _c1980. _bИзд-во БГУ,
300			_a350 с. : _bил.
700			_aБуренков, Александр Федорович
700			_aКомаров, Ф.Ф.
700			_aКумахов, М.А.
700			_aТемкин, М.М.
942			_2udc _cREF
999			_c107210 _d107210