000 01321nam a22003017a 4500
003 Ge_NSL
005 20170505170725.0
008 170130s1990 ru ||||| |||| 00| 0 rus d
020 _a5030003630
041 _arus
080 _a
245 _aЧистые помещения /
_c[Ития Хаякава, Тосихару Окадзаки, Сюдзи Фудзии и др.]; Под ред. И. Хаякавы; Перевод с яп. В. Ю. Акифьева и др.; Под ред. В. Г. Ржанова, В. И. Ушакова.
264 _aМосква:
_bМир,
_c1990.
300 _a454 с.
_b ил.
500 _aАвт. указаны перед вып. дан.
504 _a Предм. указ.: с. 451-452
504 _a Библиогр.: с. 439-450
653 _aსუფთა ოთახები
653 _aმიკროელექტრონიკა
653 _aბოჭკოვანი ოპტიკა
700 _aХаякава Ития
700 _aОкадзаки Тосихару
700 _a Фудзии Сюдзи
700 _a Фудзии Сюдзи
_eრედაქტორი
700 _a Ушаков, В.И.
_eრედაქტორი
700 _a Акифьев, В.Ю.
_eმთარგმნელი
942 _2udc
_cBK
999 _c110699
_d110699