000 01151nam a22002772i 4500
999 _c118165
_d118164
001 008455691
003 ELAR
005 20180720151014.0
008 160210s1965 ru ||||| |||||||| ||rus d
035 _a(RuMoELAR)lacunas1917-79-171941
040 _aRuMoRGB
_brus
_cELAR
_ercr
041 1 _arus
_heng
044 _aru
080 _a621.315.5
245 0 0 _aТравление полупроводников :
_b[Сборник статей] /
_cПер. с англ. С. Н. Горина.
260 _aМосква :
_bМир,
_c1965.
300 _a382 с.
_bил.
504 _aБиблиогр., сост. С. Н. Горин, с. 338-362 (392 назв.), и библиогр. в конце статей
653 _aნახევარგამტარები
653 _aნახევარგამტარების გრავირება
700 _aГорин, С. Н.
_eმთარგმნელი
_960763
942 _2udc
_cBK