000 00944nam a22002535i 4500
001 RU\SPSTU\books\154949
003 Ge_NSL
005 20170727115419.0
008 031030s1970 ru rus u
040 _c19013582
_d19013582
_ePSBO
_ePSBO
041 0 _arus
_heng
080 _a66.065
245 1 _aОсаждение из газовой фазы /
_cПод ред. К. Пауэлла [и др.] ; Сокращ. пер. с англ. М. И. Юрченко.
260 _aМосква :
_bАтомиздат,
_c1970.
300 _a472 с.
653 _aდანალექი მასალები
653 _aგაზის ფაზა
700 _aПауэлл, К.
_eრედაქტორი
700 _aЮрченко, М. И.
_eმთარგმნელი
942 _2udc
_cBK
999 _c147982
_d147981