000			00551nam a22001817a 4500
003			Ge_NSL
005			20171219104637.0
008			171219s1990 de ||||| |||| 00| 0 ger d
041			_ager
080			_a621.38
100			_aAuth, Joachim
245			_aFortschritte der Halbleitermeßtechnik ind die Mikroelektronik / _cJoachim Auth.
260			_aBerlin : _bAkademie-Verlag, _c1990.
300			_a20 S. ; _c22 cm.
653			_aელექტრონიკა
653			_aმიკროელექტრონიკა
942			_2udc _cBK
999			_c167369 _d167367