000 00961nam a22001817a 4500
003 Ge_NSL
005 20150315092632.0
008 150209s1969 ru ||||| |||| 00| 0 rus d
041 _arus
080 _a621.396.01
245 _aОсновы технологии кремниевых интегралъных схем. Т.1 :
_bОкисление, Диффузия, Эпитаксия /
_cПод.ред. : Р.Бургера и Р.Донована ; пер.с английского В. Н.Мордковича.
264 _aМосква :
_bМир,
_c1969.
300 _a451 с.
653 _aრადიოაპარატურის დეტალები
_aრადიოკავშირის მეთოდები
700 _aБургер, Р.
_eРедактор
_937051
942 _2udc
_cBK
952 _w2015-02-09
_p2015-1457
_r2015-02-20
_40
_00
_bCPL
_10
_o621.396.01
_d2015-02-09
_t2R339604
_70
_cGEN
_2udc
_yBK
_s2015-02-09
_l1
_aCPL
999 _c17852
_d17852