000			00651nam a22002057a 4500
003			Ge_NSL
005			20180306112623.0
008			180306s1994 se ||||| |||| 00| 0 eng d
041			_aeng
080			_a621.395.61
100			_aBergqvist, Johan
245			_aModelling and micromachining of capacitive microphones / _cby Johan Bergqvist.
264			_aUppsala : _bUniv., _c1994.
300			_a38 p. : _bfig., tab.
500			_aVollst. zugl.: Uppsala, Univ., Diss., 1994.
504			_aIncludes bibliogr. references.
653			_aელექტროტექნიკა
653			_aმიკროფონები
942			_2udc _cBK
999			_c180139 _d180137