000			01015nam a22001817a 4500
003			Ge_NSL
008			150616s1975 ru ||||| |||| 00| 0 rus d
041			_ageo
080			_a539.25.002.5
100			_aГришин, В. М. _941989
245			_aАппаратура для дифузии и эпитаксии : _b(По материалам отечественной и зарубежной печати за 1969-1972 гг.) : Обзоры по электронной технике / _cВ. М. Гришин ; В. В. Каминский ; Ф. А. Курмаев ; А. И. Одиноков ; Ю. Д. Чистяков ; В. В. Шведов ; [Ред. : Е. С. Корякина].
264			_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1975.
300			_a43 c.
490			_a Полупроводниковые приборы _942724
653			_aდიფუზია მყარ სხეულებზე
700			_aКорякин, Е. С. _eРедактор _942725
942			_2udc _cBK
999			_c23836 _d23836