000			01005nam a2200253 4500
999			_c487539 _d487537
003			Ge_NSL
005			20181219145656.0
008			181219s1998 us ||||| |||| 00| 0 eng d
020			_a1558994319 9781558994317
020			_a9781558994317
041			_aeng
080			_a620.22
245			_aRapid thermal and integrated processing : _b7, Symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A. / _ceds.: Mehmet C. Öztürk ... [et al.].
264			_aPittsburgh, Pa. : _b Materials Research, _c 1998.
300			_aXIII, 403 p. : _b Ill., Diagram.
490			_aMaterials Research Society symposium proceedings ; _v525
500			_aIncludes indexes.
504			_aIncludes bibliogr. references.
653			_aმასალები
653			_aმასალათმცოდნეობა
653			_aმასალის თერმული დამუშავება
700			_aÖztürk, Mehmet C. _eრედაქტორი _992110
942			_2udc _cBK