000 02027nam a22002657a 4500
999 _c493629
_d493627
003 Ge_NSL
005 20221115062657.0
008 190327s2006 ge ||||| |||| 00| 0 geo d
041 _ageo
041 _arus
080 _a 621.383.434(043)
100 _aსახაროვა, ტატიანა.
_9107894
245 _aფოტოლიტოგრაფიული პროცესების დამუშავება გალიუმის არსენადის საფუძველზე ნახევარგამტარული ხელსაწყოებისა და ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგიაში :
_b ავტორეფ... ტექნ. მეცნ. კანდ. 05.27.01 /
_cტატიანა სახაროვა ; საქართველოს ტექნიკური უნივერსიტეტი ; [სამეცნ. ხელმძღვანელი: ნინა ხუჭუა].
264 _aთბილისი,
_c2006.
300 _a34 გვ. :
_bილ.
546 _aტექსტი ქართულ რუსულ ენებზე
653 _aფოტოლიტოგრაფიული პროცესები
653 _aინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგია
653 _a ნახევარგამტარული ხელსაწყოების დამზადების ტექნოლოგია
653 _aგალიუმის არსენადი
653 _aავტორეფერატი
700 _aხუჭუა, ნინა
_eსამეცნიერო ხელმძღვანელი
_9107895
710 _aსაქართველოს ტექნიკური უნივერსიტეტი
_962482
942 _2udc
_cBK