| 000 | 02027nam a22002657a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 999 |
_c493629 _d493627 |
||
| 003 | Ge_NSL | ||
| 005 | 20221115062657.0 | ||
| 008 | 190327s2006 ge ||||| |||| 00| 0 geo d | ||
| 041 | _ageo | ||
| 041 | _arus | ||
| 080 | _a 621.383.434(043) | ||
| 100 |
_aსახაროვა, ტატიანა. _9107894 |
||
| 245 |
_aფოტოლიტოგრაფიული პროცესების დამუშავება გალიუმის არსენადის საფუძველზე ნახევარგამტარული ხელსაწყოებისა და ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგიაში : _b ავტორეფ... ტექნ. მეცნ. კანდ. 05.27.01 / _cტატიანა სახაროვა ; საქართველოს ტექნიკური უნივერსიტეტი ; [სამეცნ. ხელმძღვანელი: ნინა ხუჭუა]. |
||
| 264 |
_aთბილისი, _c2006. |
||
| 300 |
_a34 გვ. : _bილ. |
||
| 546 | _aტექსტი ქართულ რუსულ ენებზე | ||
| 653 | _aფოტოლიტოგრაფიული პროცესები | ||
| 653 | _aინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგია | ||
| 653 | _a ნახევარგამტარული ხელსაწყოების დამზადების ტექნოლოგია | ||
| 653 | _aგალიუმის არსენადი | ||
| 653 | _aავტორეფერატი | ||
| 700 |
_aხუჭუა, ნინა _eსამეცნიერო ხელმძღვანელი _9107895 |
||
| 710 |
_aსაქართველოს ტექნიკური უნივერსიტეტი _962482 |
||
| 942 |
_2udc _cBK |
||