000 01460cam a2200313 i 4500
001 009605973
003 Ge_NSL
005 20230404120516.0
008 041129s1985 ru a ||||| ||| ||rus d
035 _a(LIBNET)rc\811594
040 _aNLR
_brus
_cELAR
_ercr
_dRuMoRGB
041 _arus
080 _a621.315.59
084 _aЗ843.306.9,0
_2rubbk
084 _aВ379.227,03
_2rubbk
100 _aАбакумов, Виктор Николаевич
_9212501
245 0 0 _aИнтерференционный лазерный отжиг полупроводников и механизм лазерного отжига :
_bАвтореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : (01.04.10) /
_cВ. Н. Абакумов, Ю. В. Ковальчук, Е. Л. Портной.
260 _aЛенинград :
_6ФТИ,
_c1985.
300 _a32 с. :
_bил. ;
_c20 см.
500 _aВ надзаг.: АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
504 _aБиблиогр.: с. 30-32
653 _aელექტროტექნიკა
653 _aნახევარგამტარები
700 _aКовальчук Ю. В.
_9212502
700 _aПортной Е. Л.
_9212503
942 _2udc
_cBK
999 _c551603
_d551601