| 000 | 00475nam a22000977a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 008 | 220317s1983 by ||||| |||| 00| 0 rus d | ||
| 080 | _a681.382 | ||
| 100 |
_aАлександров, Владимир Кузьмич _9227470 |
||
| 245 |
_aШаги к микроразмерам : _bМетоды микроминиатюризации / _cВ. К. Александров ; Под ред. В. А. Пилиповича. |
||
| 264 |
_aМинск : _bНаука и техника, _c1983. |
||
| 999 |
_c573867 _d573865 |
||