000 00423nam a2200097 4500
008 220401s1986 ru ||||| |||| 00| 0 rus d
080 _a621.795
100 _9230600
_aАлексеев, Георгий Александрович
245 _aДинамика нанесения прецизионного микрорельефа /
_cГеоргий Алексеев.
264 _aЛенинград :
_bИзд-во ЛГУ,
_c1986.
999 _c579444
_d579442