000			00419nam a22000977a 4500
008			220530s1997 ua ||||| |||| 00| 0 rus d
020			_a9665010212
100			_aБабич, Вилик Максимович _9245627
245			_aКислород в монокристаллах кремния / _cВ. М. Бабич, Н. И. Блецкан, Е. Ф. Венгер.
264			_aКиїв : _bIнтерпрес ЛТД, _c1997.
999			_c617263 _d617261