| 000 | 00443nam a2200085 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 008 | 221117s1978 ru ||||| |||| 00| 0 rus d | ||
| 100 |
_aБарил, Михаил Абрамович. _9250200 |
||
| 245 |
_aГазовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем / _cМ.А. Барил. |
||
| 260 |
_a Москва : _bЭнергия, _c1978. |
||
| 999 |
_c629622 _d629620 |
||