| 000 | 00700nam a22001217a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 008 | 230626s1978 ru ||||| |||| 00| 0 rus d | ||
| 100 |
_aВершинин, Олег Емельянович _9280411 |
||
| 245 |
_aАвтоматизация технологических процессов производства микроэлектронной аппаратуры : _b Учеб. пособие / _cО. Е. Вершинин. |
||
| 264 |
_aЛенинград : _bЛЭТИ, _c1978. |
||
| 653 | _a ავტომატიზაცია | ||
| 653 | _aწარმოების ავტომატიზაცია | ||
| 653 | _aავტომატური მოწყობილობები | ||
| 999 |
_c711254 _d711252 |
||