000 00780nam a22001937a 4500
003 Ge_NSL
005 20161003101712.0
008 161003s1979 ru ||||| |||| 00| 0 rus d
041 _arus
080 _a535.5
245 _aОсновы эллипсометрии /
_c[А.В. Ржанов, К.К. Свиташев, А.И. Семененко и др.] ; Отв. ред. А.В. Ржанов.
264 _aНовосибирск :
_bНаука. Сиб. отд-ние,
_c1979.
300 _a422 с.
_bил.
504 _aбибл. 375-419 с.
653 _aელიფსომეტრია
700 _aСвиташев, К.К.
710 _aАН СССР Сибирское отделеные. инстю физики полупроводников.
942 _2udc
_cBK
999 _c81583
_d81583