000 00661nam a22001217a 4500
001 905869
008 260625m1969 ru ||||| |||| 00| 0 rus d
100 _aВолокобинская, Н. И.
245 _aТехнология микросхем :
_bЧ. 1. Пособие к лабораторным работам /
_cН. И. Волокобинская, Н. К. Иванов-Есипович.
264 _aЛенинград,
_c1969.
653 _aმიკროსქემები - ტექნოლოგია
653 _aსახელმძღვანელო ლაბორატორიული მეცადინეობისთვის
999 _c905869
_d905867