| 000 | 01133nam a22002892i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 007705175 | ||
| 003 | ELAR | ||
| 005 | 20161209105440.0 | ||
| 008 | 110517s1979 ru ||||| |||||||| ||rus d | ||
| 035 | _a(RuMoELAR)1977-79-2428487 | ||
| 040 |
_aRuMoRGB _brus _cELAR _ercr |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 044 | _aru | ||
| 080 | _a621.3.049.77 | ||
| 084 |
_aз844.15-06-5,07 _2rubbk |
||
| 100 | 1 | _aМягков, Алексей Тихонович. | |
| 245 | 0 | 0 |
_aХимико-технологическая аппаратура микроэлектроники / _cА. Т. Мягков, Е. М. Корсетов. |
| 260 |
_aМосква : _bЭнергия, _c1979. |
||
| 300 |
_a312 с. _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 305-310 (122 назв.) | ||
| 653 | _aქიმიურ-ტექნოლოგიური აპარატურა | ||
| 653 | _aმიკროელექტრონიკა | ||
| 700 | 1 | _aКорсетов, Евгений Михайлович | |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c96060 _d96060 |
||